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內容簡介
本書提供對於微系統技術有興趣的讀者一個描述這個領域所需要的基礎和基本技巧的資訊來源。本書已在Rarlsruhe大學、蘇黎士的瑞士聯邦科技學院ETH和Freibur大學的應用科學等幾門課中教授。而微系統技術已快速地擴展到新的應用領域。在不久之前，主要是用在民生用途或汽車領域的量測應用。而現今，微小化非侵入式手術、健康護理、生化、工業感測器、商用甚至軍事用途等皆廣泛應用，並快速地增加其市場佔用率。本書適合對微系統技術有興趣的人士使用。
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